更新時間：2023-04-25
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微波和真空器件多，特別是高壓陶瓷件多，運行時間長，有時發(fā)生陶瓷裂縫導(dǎo)致真空泄露。如果區(qū)段閥不及時關(guān)閉，能在幾分鐘內(nèi)使整個加速器暴露大氣，導(dǎo)致電子槍陰柵組件，速調(diào)管陶瓷窗，離子泵的損壞。從發(fā)現(xiàn)問題到現(xiàn)場手動關(guān)閉閥門，時間不容許，為使發(fā)生真空泄漏時，損失減到小，需要一種可監(jiān)控各區(qū)段真空，和及時自動關(guān)閉區(qū)段閥的控制系統(tǒng)。由于閥門動關(guān)閉，可以保護其它區(qū)段的真空。維修人員可以有的放矢地針對某一破壞的區(qū)段進行檢漏和維修，使設(shè)備損失和真空恢復(fù)時間減到小。
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